氯硅烷

氯硅烷;chlorosilane

硅烷SiH4中的氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄色，

通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3；

氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化氢。

与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。

可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合物，

在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应来制取。

用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料。

此外，四氯化硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯度硅的的中间产物。分馏後，可以获得99.999999999％（十一个9)纯度的硅。