一种以等离子体光源作为激发源的多元素光谱分析仪(见图)。等离子体光源有直流等离子光源，电感耦合等离子体光源，电容耦合等离子体光源。仪器由等离子发生器、雾化室、炬管、分光计、光电检测系统组成。操作程序，背景校正，数据处理和打印结果都由计算机控制。