平带电压

平带电压（Flat band voltage）就是在MOS系统中、使半导体表面能带拉平（呈平带状态）所需要外加的电压。

（1）平带电压概念：

平带状态一般是指理想MOS系统中各个区域的能带都是拉平的一种状态。对于实际的MOS系统，由于金属-半导体功函数差φms和Si-SiO2系统中电荷Qf 的影响, 在外加栅极电压为0 时，半导体表面的能带即发生了弯曲，从而这时需要另外再加上一定的电压才能使能带拉平，这个额外所加的电压就称为平带电压；在单位面积SiO2的电容为Ci时，平带电压可表示为Vfb= φms－Qf / Ci 。

（2）平带电压与阈值电压的关系：

MOS的阈值电压是指使半导体表面产生反型层（即沟道）时所需要外加的栅极电压。

如果存在平带电压，则所加的栅极电压就需要首先使半导体表面能带拉平，然后再进一步产生反型层；因此，这时栅极电压就需要增加这部分平带电压才能使半导体表面出现反型层，故总的阈值电压中需要增加一个平带电压部分。

由于平带电压中包含有Si-SiO2系统中电荷Qf 的影响，而这些电荷与工艺因素关系很大，故在制作工艺过程中需要特别注意Na离子等的沾污，以便于控制或者获得预期的阈值电压。