类金刚石膜

diamond-like film

又称山膜。碳的一种亚稳态，组成主要是碳，也含有氢，其量随工艺条件而异，最多时可达20％。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似，但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。

类金刚石碳（DLC）是非晶结构，碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。含氢DLC又称为α-C:H，其中氢含量在20%到50%之间。无氢类金刚石膜包括无氢非晶碳（α-C）和四面体非晶碳（ta-C）膜。α-C膜含有一些sp3键；ta-C膜中以sp3键为主（sp3>70%）。

目前，有研究者将高应力的DLC膜用于半导体制造工艺中，覆盖在MOS器件上方，用于提高器件中的应力以改善器件载流子迁移率性能。