基于半导体气敏元件法的报警仪

基于半导体气敏元件法的报警仪（AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device）

气体工业名词术语。采用半导体氧化物作为气敏元件，其电导率随着接触气体浓度的变化呈线性关系，通过测量电导率就可以检测出气体的浓度，将信号放大并显示报警。将半导体氧化物粉末涂在铂丝上，铂丝通电发热提供一定温度，同时提高了气体检测的灵敏度。该法对砷烷，磷烷，乙硼烷，硅烷的最低检测浓度分别为012×10-6，013×10-6，011×10-6，015×10-6；响应速度90%应答10s。