全氟化碳

中文名：四氟甲烷；四氟化碳

英文名：tetrafluoromethane; carbon

tetrafluoride

分子式：CF4

相对分子质量：88.01CAS号：75-73-0

危险性类别：第2.2类

不燃气体化学类别：卤代烷

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

侵入途径： 接触眼睛,接触皮肤,吸入,误食

健康危害： 当中害者因为缺氧不省人事，必须转移到没受污染的地方使之能呼吸新鲜空气或者输入氧气

环境危害： 该物质在常温常压下是气体。吸入高浓度的溶液后，会发生头昏、恶心、呕吐、方向感丧失、失调、昏迷。吸入者会窒息。低温气体会导致冻伤。