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物理气象淀积
王朝百科·作者佚名 2010-04-24
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物理气象淀积(PVD)指的是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。
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