PACVD

PACVD 离子加强化学气相沉积是在高度真空环境，温度低于 200 ℃的情况下，沉积极度光滑，粘着性能好的无定形金刚石硬质合金涂层。相对 PVD 工艺， PaCVD 工艺应用深镀电源，无需阴极靶材，同时工件在炉膛中无需旋转，该工艺为干净无污染，可靠，和多性能的涂层工艺。 PACVD 又叫 PECVD 。

加工温度

PACVD 涂层的加工温度在 200 ℃以下，大多数材料都能被用来涂层。

典型的涂层零件

PACVD 可用于绝大多数基体材料，电导材料和绝缘材料，典型应用包括发动机货物机械零件、泵零件、医疗器件和装饰件。

典型的涂层类型

爱恩邦德 PACVD 过程沉积大量的 ADLC 涂层。这一设计运用于特殊的应用领域，包括高精密应用领域，低应力应用领域和陶器应用领域。

涂层极高硬度（ 10 — 40Gpa ），在结构组织上无定形并含有约 70% 的 SP3 bondings。

涂层厚度为 2~3 微米，典型的工艺时间大约 3.5 小时。

技术过程优势

• 适合多种材料

• 减少工艺时间，提高生产效率

• 低工艺温度，尺寸变形小

• 涂层厚度均匀，无论对几何形状简单还是复杂的零件

• 工艺对环境无污染

• 可对内孔进行涂层

PACVD 加工过程