集成电路制造工艺
图书信息
书 名: 集成电路制造工艺
作者：史小波
出版社：电子工业出版社
出版时间： 2007年09月
ISBN: 9787121049705
开本： 16开
定价: 18.00 元
内容提要本书共8章，介绍了集成电路的基本概念和背景知识，系统介绍了半导体材料、硅平面工艺流程、封装测试等内容。本书力求通俗易懂，突出实用性和可操作性，重点放在基本概念和基本方法的讲解上，并配有大量图片，同时针对初学者易出现的问题进行重点讲解。
本书可作为高职高专微电子及电子信息类专业的教学用书，也可作为有关技术人员学习集成电路制造工艺的参考资料。
目录第1章概述
第2章半导体材料
第3章硅平面工艺流程
第4章薄膜的制备
第5章光刻技术
第6章掺杂技术
第7章金属化与平坦化
第8章芯片封装与装配技术
附录A术语表
参考文献