在扫描电子显微镜中，如果被观察表面不同微区的电位不同，能量较低的二次电子会从电位低的地方跑到邻近电位高的地方，使该处检测器收集到的二次电子减少，得到因电位差异而表现出衬度的二次电子像。在样品架上装一个可用于检测集成块的特殊样品台，就可观察在外加电压下集成块各条通路是否有故障。