电子辐照技术

电子辐照（Electron irradiation）就是采用高能电子束来照射材料、以改善材料性能的一种技术。

在微电子技术中，电子辐照即是用高能电子照射半导体来实现控制少数载流子寿命的目的。由于高能电子辐照能引起晶体原子位移而产生出深能级的复合中心，故电子辐照可用来控制载流子寿命。例如，电子辐照可在硅中产生两个能级，一个是在价带顶以上0.4eV的受主型能级，另一个是在导带底以下0.36 eV的施主型能级。