横向双扩散MOSFET
横向双扩散MOS晶体管(Lateral Double-diffused MOSFET,LDMOS):
这是着眼于减短沟道长度的一种横向导电MOSFET,通过两次扩散而制作的器件称为LDMOS;也可以通过两次离子注入来制作——得到所谓双注入MOSFET(简称为DIMOS)。这是功率(电力)MOSFET和功率IC的基本结构。
这种横向导电MOSFET的优点就在于:沟长L与光刻精度无关 (主要决定于杂质扩散精度或多晶硅栅掩蔽注入的精度), 则可控制L到1μm以下;较高掺杂的p区把源区和漏区隔开来了, 使得S-D之间不容易穿通, 则耐压提高;轻掺杂n区的表面导电很好, 电子容易达到饱和速度;n区可承受较高的电压, 则提高了击穿电压;在漏结附近, 击穿电压提高,而电离倍增和热电子注入效应降低;电极均在同一表面上, 容易集成。
缺点是:阈值电压的控制比较困难 (阈值电压主要决定于p区表面的掺杂浓度);沟道区是高掺杂区,表面电容较大, 则器件的亚阈特性较差;管芯占用面积较大, 频率特性也受到一定的影响。