六氟化二硅
六氟乙硅烷Si2F6
1.别名·英文名
六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．
2.用途
含氟非晶硅膜，非晶硅的原料气。
3.制法
(1)
(2)
4.理化性质
分子量： 170.16
升华温度(101.325kPa)： -19.1℃
三相点(103.991kPa)： -18.7l℃
液体密度(0℃)： 5997kg/m3
气体密度(0℃)： 7.76kg/m3
临界温度： 71℃
熔化热(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg
气化热(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg
升化热： 255.8928kJ/kg
蒸气压(-50.2℃)： 5.706kPa
(-24.9℃)： 65.595kPa
(-6.5℃)： 186.918kPa
六氟乙硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色有毒气体，在空气中不燃烧。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、
H2Si2O4等。
Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
在室温，即使与氯混合也不反应，但是当加热时产生激烈反应而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
5.毒性·安全防护
当六氟乙硅烷漏到大气中时与水分反应生成硅氟酸和氢氟酸。因此，可以认为它的毒性和硅氟酸、氢氟酸相同。
最高容许浓度：2.5mg/m3
探漏方法，一是靠其强烈的刺激臭，二是靠其在空气中水解生成的SiO2白烟。
废气直接排大气是危险的，而且是防止大气污染所不允许的。所以，一般用水吸收处理。在用水吸收处理时，水解产生氢气，因此，对氢气需要采取一定的措施。
其它参见氟化氢。