六氟化二硅

六氟乙硅烷Si2F6

1.别名·英文名

六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．

2.用途

含氟非晶硅膜，非晶硅的原料气。

3.制法

(1)

(2)

4.理化性质

分子量： 170.16

升华温度(101.325kPa)： -19.1℃

三相点(103.991kPa)： -18.7l℃

液体密度(0℃)： 5997kg/m3

气体密度(0℃)： 7.76kg/m3

临界温度： 71℃

熔化热(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg

气化热(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg

升化热： 255.8928kJ/kg

蒸气压(-50.2℃)： 5.706kPa

(-24.9℃)： 65.595kPa

(-6.5℃)： 186.918kPa

六氟乙硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色有毒气体，在空气中不燃烧。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、

H2Si2O4等。

Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4

6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4

H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6

在室温，即使与氯混合也不反应，但是当加热时产生激烈反应而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。

5.毒性·安全防护

当六氟乙硅烷漏到大气中时与水分反应生成硅氟酸和氢氟酸。因此，可以认为它的毒性和硅氟酸、氢氟酸相同。

最高容许浓度：2.5mg/m3

探漏方法，一是靠其强烈的刺激臭，二是靠其在空气中水解生成的SiO2白烟。

废气直接排大气是危险的，而且是防止大气污染所不允许的。所以，一般用水吸收处理。在用水吸收处理时，水解产生氢气，因此，对氢气需要采取一定的措施。

其它参见氟化氢。