光栅线位移测量系统
名称中文名称：光栅线位移测量系统
英文名称：Grating linear displacement measuring system
术语[1]1 光栅线位移测量系统
利用光栅副产生光信号的原理由光栅线位移传感器感受线位移量并用光栅数显表显示其值的长
度测量单元。
2 测量系统分辨率
测量系统显示的最小长度计数单位。
3 测量系统细分误差
光栅栅距内莫尔条纹原始信号经测量系统分割或倍频后分割间距之间的最大误差。
4 误差峰–峰值
测量系统误差曲线上最高点与最低点之差。
基本参数基本参数按表1 规定。
表1
参 数 名 称
参 数 数 值
分 辨 率 m
0.1 0.2 0.5 1.0 2.0 5.0 10
有效量程L mm
10 30 50 60 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 700 800
900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600 1800 2000 2200 2400
2600 2800 3000
响 应 速 度 m/min
1 6 12 18 30 48 60
技术要求1 工作条件
测量系统工作环境温度范围应为0~45 相对湿度应不大于90%。
测量系统使用的电源频率应为50Hz 额定电压为220V 电压波动范围为额定电压值的85%~110%。
2 外观及相互作用
测量系统玻璃表面不应有气泡龟裂金属表面不应有锈蚀碰伤和镀层脱落等缺陷各种标志数字应正确清晰。
各紧固部分应牢固可靠各运动部分应灵活平稳无阻滞和松动现象。
测量系统有效量程的显示应符合规定值参考零位的显示清零置数辨向等功能均应正常。
3 稳定度
在室温条件下测量系统4h 内示值稳定度应不大于一个脉冲当量。
4 可靠性
测量系统可靠性用平均无故障工作时间MTBF 表示其MTBF 应不少于3000h。
5 安全性
电源插座的任一个接线端与机壳之间的漏电流应不大于3.5mA。
电源插座的任一个接线端与机壳之间的直流绝缘电阻应不小于5MΩ。
耐压试验时交流电压为1500V 时机壳耐压时间为1min 不得有击穿现象。
6 抗干扰性
测量系统应具有电磁兼容能力受干扰时示值变化量应不大于一个脉冲当量。