薄膜制备技术基础
图书信息
书 名: 薄膜制备技术基础
作者：（日）麻莳立男，陈国荣译
出版社：化学工业出版社
出版时间： 2009-5-1
ISBN: 9787122045881
开本： 16开
定价: 39.80元
内容简介本书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。
原外版书作者长期在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知识。本书自初版以来，已有三十余年，迄今已4次再版，反映了本书在这一领域具有较为深远的影响。
本书的内容丰富，由浅入深，对于材料科学、微电子专业学生而言是一本良好的基础教材；对于在这一领域学习、工作的人员而言，具有很好的参考价值。
图书目录第1章薄膜技术
1.1生物计算(biocomputing)和薄膜技术
1.2医用微型机械
1.3人工脑的实现（μElectronics）
1.4大型显示的实现
1.5原子操控
1.6薄膜技术概略
参考文献
第2章真空的基础
2.1真空的定义
2.2真空的单位
2.3气体的性质
2.3.1平均速率 Va
2.3.2分子直径 δ
2.3.3平均自由程 L
2.3.4碰撞频率 Z
2.4气体的流动和流导
2.4.1孔的流导
2.4.2长管的流导 （L/a≥100）
2.4.3短管的流导
2.4.4流导的合成
2.5蒸发速率
参考文献
第3章真空泵和真空测量
3.1真空泵
3.1.1油封式旋片机械泵
3.1.2油扩散泵
3.1.3吸附泵
3.1.4溅射离子泵
3.1.5升华泵
3.1.6冷凝泵
3.1.7涡轮泵（分子泵）和复合涡轮泵
3.1.8干式机械泵
3.2真空测量仪器——全压计
3.2.1热导型真空计
3.2.2电离真空计——电离规
3.2.3磁控管真空计
3.2.4盖斯勒（Geissler）规管
3.2.5隔膜真空计
3.2.6石英晶振真空计
3.2.7组合式真空规
3.2.8真空计的安装方法
3.3真空测量仪器——分压计
3.3.1磁偏转型质谱仪
3.3.2四极质谱仪
3.3.3有机物质质量分析IAMS法
参考文献
第4章真空系统
4.1抽气的原理
4.2材料的放气
4.3抽气时间的推算
4.4用于制备薄膜的真空系统
4.4.1残留气体
4.4.2用于制备薄膜的真空系统
4.5真空检漏
4.5.1检漏方法
4.5.2检漏应用实例
参考文献
第5章薄膜基础
第6章薄膜的制备方法
第7章基板
第8章蒸镀法
第9章溅射
第10章 气相沉积CVD和热氧化氮化
第11章刻蚀
第12章精密电镀
第13章平坦化技术
参考文献