中文词条名：超净化
英文词条名：ultra-clean
简称超净二室内或装置内空气洁净度达到特定的等级标准。为此，必须用高效(或亚高效，或超高效)过滤器作为末级过滤器处理送风，并采取其他特殊措施，才能达到这一高度洁净的程度。