微电子制造工艺技术
图书信息
书 名: 微电子制造工艺技术
作者：肖国玲
出版社：西安电子科技大学出版社
出版时间： 2008年09月
ISBN: 9787560621036
开本： 16开
定价: 18.00 元
内容简介《微电子制造工艺技术》是一本综合介绍微电子制造工艺的教材，是按照高职高专电子、通信类专业“十一五”规划教材的要求编写而成的。本书以硅器件平面工艺为主线，适当兼顾其他工艺方法。内容侧重于微电子制造工艺技术的介绍，为方便半导体业界以外人士阅读，还介绍了一些半导体理论基础知识以及半导体工业方面的内容，使读者可以在较短时间内对微电子制造工艺有较为完整的认识，同时深入了解微电子技术的特点，掌握微电子制造工艺技术。每章后附有复习思考题，便于读者自测、自查。针对微电子技术更新速度极快的特点，书后附录中给出了常用集成电路相关网址，便于读者及时查阅新技术与新工艺。
图书目录第1章 半导体工业概述
第2章 半导体材料基础知识
第3章 集成电路有源元件和工艺流程
第4章 晶体生长和晶圆制备
第5章 集成电路制造工艺概述
第6章 薄膜制备
第7章 光刻
第8章 掺杂
第9章 封装
第10章 污染控制
附录A 洁净室等级标准
附录B 微电子行业常用网址
附录C 常用专业词汇表
参考文献
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