超精密气浮定位工作台技术
图书信息
书 名: 超精密气浮定位工作台技术
作者：陈学东 叶燚玺
出版社：华中科技大学出版社
出版时间： 2008年01月
ISBN: 9787560946108
开本： 16开
定价: 18.00 元
内容简介超精密定位工作台技术是集机械学、电子学、光学、计算机控制技术于一体的综合性技术，为IC制造技术、精密加工技术、精密测量技术等提供精密定位装置。《超精密气浮定位工作台技术——气浮系统动力学与控制》一书系统阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。
《超精密气浮定位工作台技术——气浮系统动力学与控制》一书的主要内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位耳作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作冶的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。
《超精密气浮定位工作台技术——气浮系统动力学与控制》一书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。
图书目录0 绪论
1 永磁同步直线电动机的基本原理及其控制
2 气浮轴承模型及有限元分析法
3 气浮轴承动力学建模与参数辨识
4 气浮轴承动力学性能参数分析
5 超精密气浮定位工作台动力学特性研究
6 超精密气浮定位工作台定位精度研究
参考文献
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