电容式微机械陀螺仪设计

基本信息·作者：李锦明

·出版社：国防工业出版社

·页码：182 页

·出版日期：2006年07月

·ISBN：7118045853

·条形码：9787118045857

·版本：第1版

·装帧：平装

·开本：32开

内容简介本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。

本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书，也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。

目录第一章绪论

第二章电容式微机械陀螺的结构设计与加工

第三章电容式微机械陀螺信号处理方法的研究及仿真

第四章电容式微机械陀螺接口电路的设计与仿真

第五章电容式微机械陀螺的性能测试

附录一电容式微机械陀螺的电原理图

附录二电容式微机械陀螺的SIMULINK仿真的部分代码

参考文献