超高分辨率扫描电子显微镜

产品简介 冷场发射扫描电子显微镜m213451是专门为现今技术研究和发展设计的超高分辨率仪器[1]。独特之处在于使用复合检测器允许同时显示二次电子和背散射电子成像。可以以三维立体形态观察各种物质的原子或分子结构，具有比一般扫描或电子显微镜更卓越的性能。HITACHI

m213451在半导体设备和过程评估上也很有用，这种超高分辨率的电子显微装置可以采用1KV的加速电压，保证1.8nm的分辨率。采用了独特操作方式减少荷电假象和边缘效应，这些优异性能使其远远领先于其他扫描电镜。

产品特点1． 世界上最高分辨率的扫描电子显微镜◎ 在30KV保证0.5nm

◎ 在1KV保证1.8nm(在2KV，可得到1.2nm)

2． 独特的检测方式可以同时显示二次电子(SE)和背散射电子（BSE）成像。3． 稳定的超高分辨率的显微技术。◎ 最大放大倍率1,000,000倍.

◎ 机器稳定性提高，在地面振动条件10mm(P-P)，5HZ条件下可以观察高达600，000倍的图像。

◎ 真空干燥系统，由分子涡轮泵和涡管泵组成，样品污染最小。

◎ 高速电子束系统减少样品镜筒污染。

◎ 大液氮冷阱减少样品污染。

◎ 侧面插入样的载物台适合高分辨率工作4． 结合高分辨率的显微技术和操作的设计◎ 不用改变物镜孔即可切换分辨率模式和EDX工作模式。

◎ 可以在所有操作方式（SE，BSE和STEM）间切换，因为样品位置可变。

5． 电脑控制的系统采集工作，影像处理，储存等于一体。

6． 节省能量的方式（真空状态下）保持仪器在低的能量水平运行。