真空计
真空计 vacuum gauge
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
简史
自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。21世纪以来，玉川真空应用皮拉尼技术，冷阴极技术加上先进的数字通讯电路开发了复合工业应用的PG系列皮拉尼真空计，标志着真空计测量全面进入了数字时代，在世界范围得到广泛应用。
分类
真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性（如热传导、电离、粘滞性和应变等）与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到极高真空（小于10-10帕）的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计 用以测量粗真空和低真空的绝对真空计（图1）。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸气压的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大气），另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。 压缩式真空计 又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成（图2a）。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示（图2b）。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。 电阻真空计 又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管（图3）是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。 热阴极电离真空计 通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管（图4）和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极（灯丝）、螺旋形栅极（加速极）和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极（带负电位）上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度（亦即压力p）成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。 此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。这种电离真空计在工作时，阴极发射的电子撞击加速极时产生软性 X射线，照射到收集极上时便引起收集极的光电子发射，因而就在离子流测量回路中增加一个与被测压力无关的剩余光电流IX,限制测量下限的扩展。为了减少这种软 X射线对收集极的影响，人们又研制出BA式电离规管（图5）。它是将收集极改为针形，并与阴极的位置对换，这样使光电流IX大为减少，使压力测量下限从10-5帕扩展到10-8帕左右，从而解决了超高真空测量的问题。 冷阴极电离真空计 一种测量高真空的相对真空计。它由电离规管和测量线路两部分组成（图6）。规管一般由两块平行的阴极、一个环形的阳极和产生磁场的磁钢构成。在电极之间加有高压直流电场，而整个规管的电极系统又置于垂直电极平面的磁场中。在正交电场和磁场的作用下，由低压气体分子电离产生的放电电流是被测压力的函数，所以放电电流的大小可作为压力的度量。
热偶真空计，电阻真空计，压敏真空计，电离真空计，热偶与电离复合真空计，电阻与电离复合真空计，压敏与电离复合真空计，
按真空度刻度方法分类
(1)绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。
(2)相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。
按真空计测量原理分类
直接测量真空计 这种真空计直接测量单位面积上的力，有:
(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。
(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
间接测量真空计 压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有：
(1)压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。
(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。
(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。
(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。
(5)放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。
(6)粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。
(7)场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。
(8)分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱
真空计形式
一代：裸规+二次仪表型
二代：真空计+表示器型 代表产品 PG-500 + DM-100
三代：真空计集成通讯型 代表产品 PG-600