微传感器

王朝百科·作者佚名  2010-12-09  
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简介 微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。

 
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