用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
图书信息
书 名: 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
作者：张 王晓浩 唐飞 王文弢
出版社：科学出版社
出版时间： 2010年03月
ISBN: 9787030268624
开本： 16开
定价: 35.00 元
内容简介碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。
图书目录译者序
前言
第1章 SiCMEMS概述
第2章 SiCMEMS沉积技术
第3章 与SiC接触开发相关的问题综述
第4章 SiC的干法刻蚀
第5章 SiCMEMS的设计、性能和应用
参考文献
附录
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