电容式差压传感器
电容式差压传感器的结构如图所示。将左右对称的不锈钢基座2、3的外侧加工成环状波纹沟槽，饼焊上波纹隔离膜片1、4。基座内侧有玻璃层5，基座和玻璃层中央都有孔。玻璃层内表面磨成凹球面，球面边缘镀以金属膜6，此金属膜层有导线通向外部，为电容的左右定极板。左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性平膜片，即测量膜片7，为电容的中央动极板。测量膜片左右空间被分割成两个室，固有粮食结构之称。
在测量膜片的左右两室中充满硅油，当左右隔离膜片分别承受高压pH和低压pL时，硅油的不可压缩性和流动性便能将差压Δp=pH-pL传递到测量膜片的左右面上。因为测量膜片在焊接前加有预张力，所以当差压Δp=0时十分平整，使得定极板左右两电容的容量完全相等，即CH=CL，电容量的差值为零。在有差压作用时，测量膜片发生变形，也就是动极板向低压极板靠近，同时远离高压测定极板，使得电容CH=CL。[1]