大气压等离子清洗机
大气压辉光等离子表面处理技术概要
等离子体处理作为一种新型的表面处理技术（plasma treatment / plasma cleaner / 等离子清洗),近几年来随着各行各业应用的不断深入，已逐渐被公众所熟知。然而，等离子技术本身并非一概而论，大同小异。在不同的国家，不同的厂家之间，各自发展出了不同类型，不同功用的等离子体技术。大气压辉光等离子技术，不同于其它的等离子技术，因其独特的技术特点，在最近五年内业已成为行业新的发展方向。1.大气压辉光等离子技术的特点1.corona plasma、glow plasma and arc plasma
按照等离子的产生原理来区分，现在等离子技术可以分为corona（科罗娜）、glow（辉光）、arc （电弧）plasma 三种类型。对于不同的类型，均发展出相关的应用。
为了对上述三种等离子类型有一个更直观的认知，我们通常采用直流电源作为激发能源构建等离子模型。不同的等离子技术专家与科研机构所构建的模型大同小异。在此，我们以美国普林斯顿等离子物理实验室的模型（Structure of a Glow Discharge）作为参考。如右图所示，X坐标轴表示电流值，Y坐标轴表示电压值。等离子是随着电压与电流的增加而产生并变换状态与特性。
图中竖线将plasma曲线主要分为三段，从左至右依次是corona plasma,glow plasma,,arc plasma.
1.1 Corona 等离子，也称电浆。
通常采用空气或者氮气（N2)作为发生气体。特点是气体的需求量非常高，使用氮气时一般需要配备专门的大功率氮气发生器，工业上常用RF射频作为激发能源，频率在40KHZ左右。等离子工作形态以炬式较为常见（产品如右图），条状放电模式使得表面处理后均匀性不高。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体，必须要配套气体吸出系统一同工作。因为上述特性，Corona 等离子主要适用于对处理效果要求不高，并且后续运行成本低的行业（可使用空气），比如纺织业等。
1.2 Glow 等离子。
主要分为两种方式，即腔式与大气压式，此两种等离子技术均为直接式等离子。
腔式Glow等离子的特点是需要一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，工作时首先用真空泵将腔体内空气吸出形成类真空环境，然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运行成本较高，主要原因是其真空泵连续工作的功耗较大。另外每次工作时真空环境制造过程需要的时间较多，对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说，局限性较明显。
另一种大气压Glow(辉光）式等离子技术。RF射频作为激发能源，工作频率是13.56MHZ。采用氩气(Ar)作为发生气体，氧气或者氮气作为反应气体。该技术的特点是：
1. 均匀度高。大气压等离子是辉光式的等离子幕，直接作用于材料表面，实验证明，同一材料不同位置的处理均匀性很高，这一特性对于工业领域进行下一环节的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。
2. 效果可控。大气压等离子有三种效果模式可选。一是选用 氩气/氧气 组合，主要面向非金属材料并且要求较高的处理效果时采用。 二是选用 氩气/氮气 组合，主要面向待处理产品有不能被处理的金属区域，因氧气的强氧化作用，替换为此方案中的氮气后，该问题可以加以控制。三是只采用氩气的情况，只采用氩气也可以实现表面改性，但是效果相对较低。此种情况较特殊，是少数工业客户需要有限度的同时均匀的表面改性时采用的方案。
3. 安全易用。大气压式等离子，也是低温等离子，不会对材料表面造成损伤。无电弧，无需真空腔体，也无需有害气体吸出系统，长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。
4. 面积宽大。大气压等离子最大可以处理2m宽的材料，可以满足现有多数工业材料的表面处理需求。
5. 成本低廉。大气压等离子设备功耗低，运行成本以气体为主。以主要消耗气体氩气为例，同corona等离子气体消耗量相比不足其1/20.
1.3 Arc等离子
Arc等离子技术通常应用于等离子切割机，主要是金属的切割。可以搭配的工作气体种类较多，如氩、氧、氮、、氢、水蒸气、空气、混合气体等。其等离子电弧的温度可以高达15000°~30000°。 等离子弧切割是利用极细、高温、高速的等离子电弧的热量来熔化进而切割金属器件，特点是切割快速，热影响区小，切割面平滑。2.大气压辉光等离子技术的应用2.1处理对象
(1)非金属材料，各种PET,PMMA,ITO film,Ceramic,Glass,Polymer等
(2)金属材料，各种金属线缆,PCB,FPCB,Lead frame等。
2.2应用领域
(1)LCD
(2)LED/OLED
(3)TSP
(4)Solar Cell
(5)Semiconductor
(6)Optics
(7)Medical3.等离子处理效果检测手段3.1水滴接触角测试
水滴接触角测试，是指使用等离子清洗机处理材料前、后分别向表面滴水，并用专门的接触角测试仪测量前后变化，从而量化表面能量变化与洁净效果的一种常规测试手段。以普通的铜基板为例，处理前后的接触角分别为103°/40°（数据仅供参考）。
3.2 Dyne test pen 测试
达因笔常用来测试表面张力，配套多种表面能级的测试墨水。测试方法：假设测试笔数值60dyn/cm，用笔尖在材料表面轻轻划上一长横，如果停留在材料料表面超过2秒钟仍没有水珠形成或向四周扩展，表示材料的表面张力达到或超过60dyn/cm。4.疏水性等离子表面处理技术除了常规的亲水性等离子清洗技术，还有另一个方向的疏水性等离子表面处理技术。疏水性表面处理的技术，除了氩气之外，还需采用一些碳氟化物等特殊气体作为工作气体，在材料的表面进行纳米涂膜，从而改变材料表面的成份与特性。