四氟化碳
Carbon tetrafluoride,分子式是CF4。
特性
在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。
物理性质
熔点-183.6℃，
沸点-128.1℃，
液体密度（-130℃）1.613g/cm3，
液体折光率（-173℃）1.515，
固体转变点72.2K，
临界温度-45.67℃，
临界压力3.73MPa，
临界密度7.1dm3/mol，
标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol，
标准摩尔生成熵261.04J/（mol﹒K），
标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol，
标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol。
市场价格：
约260元/千克
应用
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。