R14
超低温制冷剂R14。R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon 14等，中文名称四氟化碳、全氟化碳，英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14属于fc类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
目录
主要用途:理化性质:包装运输:质量标准:
主要用途:r14 钢瓶
R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
理化性质:（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦称四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。
相对分子量：88.00。
在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。
沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。
液体密度（-130℃）1.613g/cm，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa）1.0006。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。
包装运输:四氟甲烷对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，阀门（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
质量标准:产品质量标准（QUALITY STANDARD FOR CF4）
指标名称
高纯级
优级品
一级品
含量，%（v/v） ≥
99.99
99.9
99
氮气，%（v/v） ≤
0.002
0.03
0.3
氧气，%（v/v） ≤
0.0005
0.01
0.1
水份，ppm ≤
5
5
10
二氧化碳，ppm ≤
5
10
800
氟化碳，ppm ≤
15
20
-
酸度，（HF）ppm ≤
0.1
1
-
六氟化硫，ppm ≤
-
-
600