陈旭南
陈旭南
1944年7月出生于浙江省缙云县。1968年毕业于浙江大学光学仪器专业。长期从事光电工程技术、微细加工光学设备技术以及波前工程技术领域研究。完成了PCA—100图象彩色分析仪、AMIS—1掩模缺陷自动检测仪、电视测量经纬仪、精密测角仪、高分辨力CCD拼接相机、实时测量系统多片面阵CCD拼接技术、亚微米i线g线投影光刻物镜和提高投影光刻分辨力的离轴照明技术研究。还负责完成了中科院“八五”重大科研项目的“0.7—0.8微光i线投影光刻曝光系统”和国家科技攻关“0.8—1微米分步重复投影光刻机”研制。获得中国科学院科技进步三等奖2项、二等奖2项、一等奖2项和国家科技进步三等奖1项。在国内外刊物上发表论文六十多篇。申请了“分辨力自增掩模板”等专利14项。带研究生若干名。并正承担着中科院“九五”重大科研项止“微电子专用设备技术研究”的关键单元技术研究，同时负责承担国家处然科学基金研究课题，重点研究提高超大规模集成电路和光刻分辨力的波前工程热点技术。