微加速度计

微加速度计

微加速度计最典型的原理是：以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量快向一个方向偏移，然后通过电极测量这个位移量（或产生偏移的惯性力）换算为加速度。

按位移量（或产生偏移的惯性力）的测量方法分类有：

1. 压阻式加速度计：通过在质量块的支撑（suspension）上嵌有压敏电阻来感应质量块偏移对支撑产生的应力进而获得加速度的信息。压阻式的主要问题是灵敏度较低，而且温度稳定性不好，一般需要大的质量块和温度补偿。

2. 电容式：质量快的位移导致其本和另一极板之间的电容发生变化，或者是质量快上有梳状电极，位移导致感应电极之间的电容量变化。通过测量电容量的变化获得质量快位移的变化进而知道加速度。电容式的优点是灵敏度高，噪声小，温度稳定性好，缺点是易受电磁干扰，需要特别封装。

3. 隧道电流式：通过在活动部件上添加一个隧穿针尖和另一个电极之间通有隧穿电流。当载体具有加速度时，活动部件的位移会导致隧道电流的剧烈变化（典型的是位移变化一个埃——10^-10米，隧道电流变化一倍），通过测量隧道电流可以获得很高的加速度的感应灵敏度，而且由于质量快可以做的很小，因此器件的体积很小，缺点是低频噪声很大，供电电压较高（上百伏）。

4. 谐振式：通过质量块受到的惯性力来改变另一根梁的轴向应力进而改变梁的共振频率。通过共振频率的测量就可以获得加速度的信息。

5. 热传感式：质量块的位移改变质量块和散热之间的间距进而改变质量快的温度，通过测量温度的变化来感知加速度。