电容位移传感器
电容位移传感器简介电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。目前主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。
电容位移传感器特点:1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；
2.往复机构的运动特性和重复定位精度；电容位移传感器
3.正弦波激振和脉激振中振动测量；
4.机器零部件相对振动相对变形；
5.盘类零件的端面振摆；
6.轴承间隙和油膜厚度；
7.检测零部件尺寸和平直度；
8.线切割机床电极丝的振动；
9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；
10.也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量。
电容位移传感器特点：量 程：初始间隙δo与传感器电极板do
分 辨 率：0.01nm 零磁滞
非 线 性：±0.25%FSO
频带可调：50～5000Hz
灵敏度可调：5～125μm/V
输出信号：0—±5.0V
零 漂：≤±0.25%FSO
电 源：±15V
体 积：19cm×12cm×8cm
电容位移传感器使用方法:1.频率校准接好联线，将电极板拧入传感器探头头部，并使之远离物体，按下“校准”键，这时有电压输出，预热20分钟，调节“调零”旋扭，使输出回到零点。2.安装传感器，调整初始间隙，进行测量按下测量键，将传感器借助弹性夹套安装到磁表座（或用户自制专用夹具）上，使测量电极板端面接近被测物体的表面，平面或圆柱面，尽可能平行，球面尽可能对中，调整的初始间隙见表1（参考值），调整时有“+”电压输出，反时针转动传感器微调螺母，使测量间隙逐渐增大，输出电压会逐渐接近零点，借助“调零”旋扭细调，使输出精确为0，调整时有“—”电压输出，顺时针转动微调螺母，使测量间隙逐渐减小，输出电压会逐渐接近零点，测量即可开始。测量时，被测物体表面接近传感器，测量间隙减小，表示被测尺寸增加，输出为“+”电压，反之输出为“—”电压，仪器输出的“+、—”电压就是相对应量程的静态位移。3.与通用表连接仪器两种量程的满量程电压输出都是0—±5.0V（线性区），可与各种高输入阻抗仪表（计算机、电压表、示波器、频率计、FFT波形分析处理等）联接。
电容位移传感器注意事项：1.本仪器属精密测量仪器，固定传感器支架要有足够的刚性，传感器调整好，让其稳定一段时间，消除支架的机械蠕变再开始测量。
2.测量过程中尽量不要挪动传感器的联接电缆，使电缆自然放置。
电容位移传感器配套件：1.放大器
2.外接振荡器
3.传感器 （包括弹性夹套、塑料保护套、电极板)
4.5芯电缆线
5.外接振荡器与仪器本体联线
6.接地线
7.使用说明书
8.包装箱