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自掺杂效应
王朝百科·作者佚名 2009-12-27
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由于热蒸发或者化学发应的副产物对衬底的腐蚀,使衬底中的硅和杂质进入气相,改变了气相中的掺杂成分和浓度,从而导致了外延层中的杂质实际分布偏离理想情况,这种现象称为自掺杂效应。
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