基板校正装置，其包括承载台和多个滚动件。承载台包括多个侧边、底面以及感应器，感应器设在底面上以确认基板是否放至定位，而滚动件设在侧边和底面上。当基板由机械手传送至承载台时，可利用滚动件使基板校正到承载台上的适当位置。
【 权利要求 】 一种基板校正装置，包括有： 一承载台，包括一底面和一周边，所述底面与所述周边连接；和 多个滚动件，设在所述周边和所述底面上。