压电/电致伸缩设备

一种能够有效防止薄壁隔板部的振动衰减，保持高位移(振幅) 且响应性好、可进行高精度(高分辨率、灵敏性)检测的压电/电致伸缩设备。其具有框状的厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)，通过由厚壁部(11)及薄壁隔板部(12)形成与外部连通的空腔(13)的陶瓷基体(1)；和具有包含下部电极(21)、压电/电致伸缩膜(22)及上部电极(23)的层结构的压电/电致伸缩器件(2)来构成，另外，使薄壁隔板部(12)外侧呈凸出的弧状，并且使所述压电/电致伸缩器件(2)在其内部残留有与和薄壁隔板部(12)的固定面平行的拉应力F。