热处理装置

一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置(1)包括具有用于向基板处理部(5)供给热风的热风供给部件(14)的空气调整部(11)、以及用于对基板进行热处理的热处理室(12)。热处理装置(1)配置有催化壁(40)，载持有促进在热处理室(12)的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂。因此，热处理装置(1)因冷却生成气体而产生的所谓的升华物的产生量极低。此外，由于在生成气体氧化分解时会产生反应热，所以热处理装置(1)在热处理时加热混合气体只需很少的耗电量。