平面三自由度精密定位平台
平面三自由度精密定位平台，包括输出平台、基座、三个柔顺机构、三个压电驱动器、三个驱动器定位装置、三个位移传感器和控制器。本实用新型由于三个柔顺机构以及三个位移传感器沿输出平台中心向外呈 120°角分布，保证了运动传递的无间隙、无摩擦、免润滑、高精度性和高稳定性，并且提高了输出平台移动的直线度；由于采用了柔顺机构，不仅使得输出平台能同时提供X、Y方向平移，Z方向旋转，而且使得输出平台和基座都在同一层次上；采用压电陶瓷驱动器作为压电驱动器，保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度，具有纳米级的分辨率和亚微米级的定位精度。本实用新型可广泛应用于精密定位领域。