旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置

一种材料加工设备，特别是涉及一种旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置。由底座、传感器、金刚石锯绳、气动张紧轮、工作滚轮、直流伺服电机、二维夹具机构组成，二维夹具机构由旋转机械手及步进电机组成，Y轴移动平台上连接有水平角度调整转台，水平角度调整转台上连接有垂直角度调整转台，步进电机联接在可调支撑板上，经过旋转轴与物料夹具相连。以旋转点接触切割方式替代过去已有的传统面接触切割方式，解决了对SiC超硬材的精密切割。