原子序数衬度 (Atomic Number/Composition Contrast)
是SEM/TEM中由于试样表面物质原子序数（或化学成分）差别而形成的 衬度。利用对试样表面原子序数（或化学成分）变化敏感的物理信号作为显像管的调制信号，可以得到原子序数衬度图像。背散射电子像、吸收电子像 的衬度，都包含有原子序数衬度，而特征 X 射线像的衬度是原子序数衬度。