背散射电子
back scattered electron
背散射电子是由样品反射出来的初次电子,其主要特点是: 能量很高,有相当部分接近入射电子能量 E 0 ,在试样中产生的范围大,像的 分辨率低。 背散射电子发射系数 η =I B /I 0 随原子序数增大而增大。 作用体积随入射束能量增加而增大,但发射系数变化不大。