钛酸锶钡薄膜材料

钛酸锶钡薄膜材料及制备方法。材料包括金属基片，特别是金属基片上依次覆有Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3种子层和BaXSr1-XTiO3薄膜；方法包括用常规方法获得金属基片，特别是按照Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3的成分比，将醋酸钡、醋酸锶、三氟乙酸、乙酰丙酮和钛酸丁脂先后混合得到种子层前驱胶体，再将该胶体置于金属基片上，经甩膜、热解、退火得到种子层；按照BaXSr1-XTiO3(0≤X≤1)的成分比，将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁脂和甲醇先后混合得到钛酸锶钡前驱胶体；再将此前驱胶体置于覆有种子层的金属基片上，经甩膜、热解和退火得到BaXSr1-XTiO3薄膜；重复得到薄膜的步骤，直至获得所需厚度的BaXSr1-XTiO3薄膜，从而制得高度取向的钛酸锶钡薄膜材料。它既适合后续钇钡铜氧薄膜的生长，也可直接应用于动态随机存储器中