离子溅射法

王朝百科·作者佚名  2010-01-20  
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真空容器内,在高压1500V的作用下,残留的气体分子被电离,形成等离子体,阳离子在电场加速下轰击金属钯,使金属原子溅射到样品的表面,形成导电膜。

 
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