多功能电子能谱系统

主要用途： 1、样品的表面组成分析，化学状态分析，取样尝试为～3nm； 2、可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析） 3、元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式） 4、可进行样品的原位处理 适合于：纳米薄膜材料、微电子材料、催化剂、摩擦化学、高分子材料的表面和界面研究及摩擦化学研究。

仪器类别： 0303070701 /仪器仪表 /成份分析仪器 /电子能谱仪

指标信息： 主真空室：≤6.7×10-8Pa，场发射电子枪灯丝，SEM束斑：≤6nm，电子枪束斑：≤7nm，信噪比：700:1，灵敏度：>700KCPS，能量分辨率：1‰；二次电子像斑束直径为9-200微米，32通道检测器，微区分析灵敏度<30微米，可进行深度剖析，可获得高深度分辨率，可对绝缘样品进行分析。

附件信息： 场发射电子枪激发源，快速氩离子刻蚀枪，能量损失谱（EELS），多通道筒径分析器，低能离子散射谱（ISS ）