超纯水
超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。
超纯水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm
超纯水，目前的主要工艺流程
1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂
2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂
3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂
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中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）《分析实验室用水规格和实验方法》：
指标名称 一级水 二级水 三级水
1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ
PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5
比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0