高纯水(high-purity water,ultra-high purity water)是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%，其中杂质含量低于0.01mg/L。高纯水主要指水的温度为25℃时，电导率小于0.1us/cm ,pH值为6.8-7.0及去除其他杂质和细菌的水。