准分子是一种在激发态复合成分子、在基态离解成原子的不稳定碲合物。由其能级示意图（图4）可以看出，对应于核间距为R0的基态分子是极不稳定的，会很快分解成独立的原子。因此，在R0附近，激发态与基态之间很容易建立起粒子数反转而产生激光振荡。准分子激光器已实现了紫外波长可调谐输出。