程曜
1956年10月出生，浙江嵊州人，教授，博士生导师。1989德国鲁尔波鸿大学物理系博士。1989年至2001年于新竹同步辐射国家实验室任职，1999年年至2002年在新竹清华大学任教，2002年起百人引进回祖国清华大学任教。
在台湾先期主要工作为建造1.5GeV同步辐射加速器，领导加速器试?汲晒Γ?能量由1.3GeV 至1.5GeV提升。后期主要工作为利用同步辐射发展微加工，建立微加工工艺及实验室，并于1997年发展出世界最深的三毫米X射线深刻术。 1999年起开始发展新的激光深刻术，致力于深刻术工业化。
现于工程物理系建立量子测控实验室。量子测控的意义，在于寻求新的微观科学机制，研究并完善这种新的方法，达到极端精密的观测、制造和控制。和美国马里兰大学史砚华教授合作，研究量子纠缠态的光刻和辐射成像。目前在系内主要的研究方向分激光紫外超深光刻术和极限穆斯堡尔效应。