氩气纯化装置
采用非蒸散型锆铝16吸气剂及分子筛为净化剂。在一定的温度下，吸气剂可与氩气中的微量杂质O2、N2、H2、H2O、CO、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，对氩气精制的一种装置。
1 脱氮 脱氮时,有时伴着脱氧，用金属吸气剂吸收•金属吸气剂有钙、钛、铀和锆铝１６.
用金属钙做吸气剂,同时吸收氮和氧,反应温度650-680℃,出口杂质20-50 PPm
用钛，锆铝１６可以同时吸收氧、氮、氢，水蒸气,一氧化碳,二氧化碳和烃
2 脱氧 用化学法脱氧,常用的脱氧剂有氧化锰和Ag-X分子筛
用氧化锰吸收氧,工作温度150℃,氧脱除到２PPm
常温用Ag-X分子筛脱氧, 氧脱除到3PPm
3 脱氢 脱除氢用氧化铜和Pd-X分子筛
用氧化铜脱除氢•,反应温度350-400℃,氢气脱到0.1PPm
用Pd-X分子筛脱除氢•,反应温度350-400℃,氢气脱到１PPm
4 碳化物的脱除,
用金属剂锆铝１６在脱碳的同时,一次性脱除一氧化碳,二氧化碳,和烃类.,可达1PPm