廖道达
廖道达男， 1935年6月10日生，广东省兴宁市蓝布村人。1963年毕业于北京大学物理系。东北大学物理系应用物理副教授，离子束技术开发研究室主任，中国物理学会会员。从1970年开始主要从事离子束设备及其应用研究。参与研制成功“80Kev离子注入机”和“1Z—170型离子注入机”，分别荣获冶金工业部的嘉奖和辽宁省重大科技成果奖，并且应用于研制成功半导体高频低噪音晶体管、MOS、CMOS集成电路和PIN探测器等元器件。主持研制成功国内首创的“DWY—84A型离子注入与离子束混合两用机”，荣获沈阳市科技进步二等奖和冶金部科技进步三等奖，并且应用于金属工模具、玻璃、陶瓷、聚合物和植物种子的表面改性研究，发表了“低摩擦耐磨材料的探索”、“离子注入与离子束混合两用机”等论文及报告数十篇。退休后，又在广东创建了《中山市离子束材料改性加工中心》，采用自己最新研制成功的靶室容积为φ1×3m的国内第一台工农业用大型多束多功能离子束机，推广离子注入、离子束混合、离子束溅射、离子束辅助镀膜（束增强沉积）或离子束沉积等新工艺的大规模开发应用，并且实施自己的“金刚石表面离子束改性”专利，取得了极好的效果。在’99澳门“第三届”世界发明博览会暨国际荣誉评委会上，“大型多功能离子束机”和“金刚石表面离子束改性”项目，分别荣获“国际金奖”和“国际特别金奖”。当前亟待开发金刚石薄膜、立方氨化硼薄膜和高效冷凝器等新材料、新工具、新产品的应用。