匀胶机
[1]什么是匀胶机？
匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
如何选购合适的匀胶机？
针对目前匀胶机市场品牌众多，良莠不齐现象，笔者结合自己多年从事匀胶机技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力，为用户提供了直观明确的选择标准。
从其原理来说，我们可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节“
1、 旋转速度：转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的，比如：美国NIST标准等。
2、 真空吸附系统的构造
真空泵一定要无油的，压力标定准确，国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多国外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。
3、 材质的选择
对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目前有些国外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
笔者提醒：
在选购匀胶机的过程中，除了商家的宣传外，用户更应掌握必要的空调知识，从技术指标上判别匀胶机的性能。而从目前市场上看，国际著名品牌的匀胶机系统在性能上更具优势。例如：MYCRO MSC-650系列匀胶旋涂仪转速获NIST标准认证。其中MYCRO MSC-400B型高精度数码控制器的匀胶旋涂仪，非常方便设定速度和加速度程序段，20个51步程序段或者手动模式，100~8000RPM的稳定转速，也可特别订制1~12000RPM的转速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；MSC-400B数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%，获美国NIST激光测量标准认证，无需校准；
NIST为美国国家标准技术研究所National Institute of Standards and Technology，是一个联邦政府制定标准和规章制度的机构。专门开发和推广测量方法、标准以提高生产、促进贸易和改善生活质量。 NIST向美国工业和研究部门、政府机构等提供多达1300种以上的标准物质，用来进行现场仪器标定，质量控制，检验测量精度以及开发新的测量方法。