是采用微波（频率为300MHz~300000MHz）照射产生的热能杀灭微生物和芽孢的方法。该法适合液体和固体物料的灭菌，且对固体物料具有干燥作用。
其特点是：微波能穿透到介质和物料的深部，可是介质和物料表里一致地加热；且具有低温、常压、高效、快速（一般为2-3min），低耗能、易操作、易维护，产品保质期长（可延长1/3以上）等优点。