过一硫酸
也称过氧硫酸，又名卡罗酸
化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2）
分子量：114.07
性质：当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）可以看成是H2O2中一个氢原子被磺基–SO3H 取代的产物，即HOO–与–SO3H结合。无色吸水性晶体。熔点45*C，加热爆炸分解 。溶于硫酸、磷酸、冰醋酸。因含有过氧根而具有强氧化性，与芳香化合物（如苯、酚、苯胺）相混爆炸。在水中缓慢水解为硫酸与过氧化氢。它是一元强酸，其盐类反而不稳定。
这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH–和HSO4–反应基之间的反应很弱。